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90-S/90-SE Series Track

90-S/90-SE Series Track

详细描述


                               

9x系列轨道的特点：
适用于100mm到200mm圆片的处理
I线，248纳米的光刻胶处理能力
多层式的热处理结构
高效能、高产能以及高可靠性。

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