ZJT-601用于IC及LED衬底片的质量检测。用来精密检测衬底片的平整度、翘曲度以及厚度等指标，并...

该设备用于IC及LED衬底片(基片)的质量检测。用来精密检测衬底片的平整度、翘曲度以及厚度等指标，并...

主要技术指标分辨率0.25μmResolution0.25μmN.A.0.6N.A.0.6曝光光...

NSR2005i12D主要用于CD线宽不超过0.35μm器件的生产。主要技术指标分辨率0.35μ...

NSR2005i11D主要用于CD线宽不超过0.35μm器件的生产。主要技术指标分辨率0.35μ...

NSR1755i7A主要用于CD线宽不超过0.5μm器件的生产。主要技术指标分辨率0.5μmRe...

NSR1755g7A主要用于CD线宽不超过0.65μm器件的生产。主要技术指标分辨率0.65μm...

NSR1505g6E主要用于CD线宽不超过0.65μm器件的生产。主要技术指标分辨率0.65μm...

NSR1505g4D主要用于CD线宽不超过0.75μm器件的生产。主要技术指标分辨率0.75μm...