片子尺寸

2inch--8inch

特点

用户化设定， 全自动，高精度，高效率。

片盒装/卸模式

手动

测量项目

LTV                  <0.15um(重复性)

TTV                  <0.15um(重复性)

Thickness            <0.1um(重复性)

BOW                  <0.1um(重复性)

warp                 <0.5um(重复性)

C- Thickness         <0.15um(重复性)

TIR                  <0.15um(重复性)

工作效率

>620 片/小时（2 英寸基片，2.5mm 阵列）

>520 片/小时（4 英寸基片，5mm 阵列）

>480 片/小时（6 英寸基片，10mm 阵列）

检测精度

<0.1um

检测方式

连续扫描

片盒数量

20 盒，10盒上片，10 盒分选下片(或根据用户要求设置)

安全模式

残留片处理(检测舱内.机械臂上.定心台上) 片盒未装提示

真空错误

运行过程位置、时序错误

手动紧急停止、暂停

锁屏功能 报警

记录查询

操作方式：

操作员、工程师、管理员

最小步距

<0.05mm

检测传感器

德国 PRECITEC 公司光学传感器检测（长寿命 LED 光源）

边缘要求

非接触

校准

自动校准

数据查询

按批次、按日期查询每个衬底片对应的数据图

每个衬底片的数据导出 excel 格式