高性能LED图形化衬底（PSS）制造解决方案

LED照明作为新一轮高科技产业发展的焦点，被誉为全世界最有机会、最受追捧的产业。随着LED工艺技术的发展，采取图形化衬底技术可以有效提高 LED照明的亮度称为当前流行工艺，上海微高针对用户需求，专业提供高性能LED衬底（PSS）制造技术的解决方案，受到市场热烈反响。
    接触接近曝光模式已不能满足高性能LED照明芯片图形（PSS）的要求。根据市场需求，上海微高公司以多年来承担国家高端光刻机设备研制以及在IC领域提 供二手NIKON分步投影光刻机设备翻新、改造100多台所积累的成功经验、技术，结合LED  PSS量产工艺特殊要求，对NIKON公司g6/g7/i7/i8/i9系列二手光刻机设备进行了翻新、改造，实现了具备全自动2英寸、3英寸、4英寸蓝 宝石晶片传输、曝光功能的分步投影式曝光设备的供应，和接触接近式曝光设备相比较具备高分辨率、高产品合格率、高生产率和图形一致性等优点，完全能够满足 当前LED量产的高要求。同时，经过大量的LED PSS工艺实验和用户验证，完全满足PSS大批量生产的要求。上海微高公司提供的全自动、分步投影式曝光设备及掌握的LED照明晶片曝光工艺技术，为国内 有志于高性能LED照明产业的生产厂商提供了更好的选择

    1、满足高性能LED PSS芯片量产的分步投影光刻机

    1.1 设备技术特点：
   （1） 高分辨率  1um。
   （2） 2英寸/3英寸晶片全自动传输、分步投影式曝光。
   （3）掩模版全自动传输、对准。
   （4） 逐场调焦调平技术，改善了由于蓝宝石晶片局部形变对整片曝光图形一致性造成的影响，确保良频率。
   （5） 高产品合格率和图形一致性 ，完全能够满足LED照明芯片图形（PSS）生产的高要求。
   （6） 拥有成熟的LED照明晶片采用分步投影曝光的工艺技术。